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光學測量機

Opt-scope

TOKYO SEIMITSU 東京精密 3D白色幹涉顯微鏡
Opt-scope具有0.01nm的高分辨率。從狹範圍的微細粗糙度分析到廣範圍的起伏形狀分析，可以廣泛應用。以“非接觸”且“短時間”的方式對工件形狀的整個表面進行三維評價。

现有產品特點

3D 白光幹涉顯微鏡 Opt 瞄准鏡具有高分辨率。 高速、 廣泛
3D 白光幹涉顯微鏡 Opt 瞄准鏡無論鏡頭放大倍率如何，在垂直方向上都具有 0.01 nm 的高分辨率，並且可以使用低放大倍率鏡頭測量納米表面紋理，從而能夠一次性高速測量大面積區域。 它以高重現性測量亞納米表面粗糙度、透明度和高縱横比結構，這些都是激光顯微鏡和其他非接觸式測量原理難以測量的。
新型號！ Opt-scope 的 NEXT 階段更加靈活
NEX 平台型號 “Opt-scope NEX” 可靈活處理所有類型的工件。
陣容中新增了讓您無壓力工作的一體式安裝 DX 類型和支持桌面安裝的 SD 類型。
一體式安裝型 DX 型
台式安裝 SD 型
通過各種夾具組合與各種工件兼容
東京精密已經能夠測量各種工件。利用我們在那裏積累的經驗，我們將提出適合您需求的工件夾持工具和對准夾具的組合。
大型工件的無切割測量
可以安裝和測量現有型號無法實現的大型工件。例如，可以在直立位置測量直徑爲 300 mm 的砂輪，圓柱盖等箱形工件和凸輪軸等長工件也可以無切割方式設置在測量台上。 它減少了准備切割所需的工時，有助于節省勞動力。※ 最大有效載荷 96 公斤
高可擴展性，實現自動化和省力
它是一個高度可擴展的平台系統，由于可選擇的底座和柱尺寸、測量段的寬垂直行程、柱的電動左右進給以及對 XY 電動平台的支持，可以通過多種方法實現自動化和節省勞動力。
與觸笔高度相關
作爲市場領導者，東京精密多年來一直在銷售測針式表面粗糙度測量機，Opt-scope與測針在效果測量方面具有相關性。
更快的相機選項將掃描速度提高了 6 倍
根據准確性選擇 2 種模式。 高速模式現在更快。
用于高速測量毫米形狀的焦距變化測量功能
焦點變化測量功能是一個選項，可以測量毫米級的形狀，包括陡峭的斜坡，這在白光幹涉測量中是困難的，基于焦點變化顯微鏡，這在 ISO 25178-606 中被定義爲一種測量方法，這是三維表面紋理的國際標准。通過將此功能與普通白光幹擾測量相結合，單個 Opt 示波器單元可以滿足更廣泛的測量需求。
使用透明多層膜測量功能進行膜厚分析
光學長度爲 1.5 μm 或更大的透明薄膜最多可堆叠 6 個（7 個界面），並且可以分析最外層的表面特性、每層的薄膜厚度和厚度分布。

評估和分析示例

Opt-scope
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